1小时后,何成抵达了沪上,并第一时间前往了公司的光刻机制造工厂。
“最新的光源试验成功了?”在工厂里见到项目组的负责团队,何成直接开口问道,这就是他今天专程赶来沪上的原因。
面对何成的提问,光刻机项目负责人满脸兴奋的回应道,“是的何总,我们赌对了!”
“用水代替空气从而提高分辨率后,我们成功的在实用环境下将193纳米波长的光缩短到了134纳米。”
“当然,这个验证的过程并不顺利,我们也是在无数次的尝试后才终于搭建出了稳定的结构。”
“多亏了何总能够始终坚定的让我们去试错,说实话,前段时间大家真的都快要放弃了。”
“毕竟我们本身是光刻机行业的新玩家,却成为了全世界唯一一家尝试这种新方案的光刻机公司。”
“期间不少人都觉得我们有点过于追求大突破,不够落地不够踏实。”
“但现在事实证明,我们选择的这个方案是可行的,而这样一个方案,很可能会引发光刻机行业的一场剧变!”
“那现在光源技术方案已经通过了验证,基于这一光源技术方案的自主光刻机多久可以出来?”何成的情绪相对平静,并且在意的是一个更大的结果。
“呃。。。”听到这个问题,项目负责人脸上的兴奋淡去了大半,“可能还需要一些时间。”
“为什么?”
“因为我们在光刻机其他核心技术领域的发展速度暂时还跟不上光源系统突破的速度。”
“目前来看,在长光所那边的牵头下,光学镜头的进展算是除光源系统外最好的了,最近也一直在疯狂的做着测试,我估计年内应该会有好消息,就是有点烧钱。”
“但工作台系统的技术进展就稍微有点跟不上整体节奏了,尤其是我们追求的是双工作台系统。”
“最近正在考虑换几个思路试试,我们还特地又高薪挖了一批人才回来专门参与工作台系统的技术突破问题。”
“然后就是环境控制系统,自动对准系统,减振系统,整机控制系统这些,也都还需要一点时间。”
“至于零部件的问题倒是还好,买不到的零部件我们基本上都能自主搞定了,买得到的零部件我们也是遵循着买归买,自主也不会落下的发展原则。”
何成不由摸了摸下巴,“那我想要见到属于我们的完全体光刻机,你觉得需要多久?”
光刻机项目负责人很认真的思考了几秒,“2年吧。”
“2年,那就是2004年了。。。”何成单手叉腰,看起来不是很满意。
见状,项目部负责人连忙再次开口道,“但我们这个新方案带给我们的技术领先应该不止2年。”
“现在尼康那边还在死磕老方案,可一点像样的进展都没有,我估计两年后他们能把技术往前推一代就很不错了。”
“其他一些新方案,暂时也没有传来什么突破性的消息。”
“目前只有我们这个新方案是实打实通过了验证,并且将技术往前实打实的推了一代。”